Specyfikacja | LMT-XY-200X200 | ABVT-Z20 (szyna nośna powietrza) |
Typ silnika | Silnik trójfazowy bez żelaza | Silnik cewki drgającej + |
Rezolucja | Domyślna ilość cyfrowa 100nm | 1vpp do 5 nm |
Ciąg silnika | Ciągłe 60N/szczytowe 210N | Ciągłe 60N/szczytowe 210N |
Minimalny rozmiar kroku [nm] | 200 nm | 100nm |
Skok [mm] | 200×200 | 10 |
Powtarzalność [um] | ±0,3 | |
Dokładność pozycji [um] | ±1 | ±0,5 |
Płaskość [um] | 10um | 5um |
prostoliniowość [mm] | 1um | 1um |
Maksymalna prędkość [mm/s] | 500 mm/s | 30 mm/s |
Ładowność [kg] | 5 kg (oś Z z pneumatycznym ciężarem wyważającym o stałej sile) |