FSM wykorzystują podłoża metalowe (aluminium lub beryl) lub węgliki krzemu, w zależności od konkretnych wymagań aplikacji.Możemy dostarczyć lustra z praktycznie dowolnymi wymaganiami dotyczącymi powłok, od podstawowych powłok metalowych po powłoki dielektryczne o wysokim współczynniku odbicia, przeznaczone do zastosowań w laserach wysokoenergetycznych (HEL).BlueHalo FSM zapewniają wysokie przyspieszenie;>10 000 radianów/s2 dla naszej klasy 1”-2” FSM.Nasze FSM osiągają wysoką przepustowość (>1 kHz optyczna lub pozycyjna, w zależności od rozmiaru) i zapewniają niski jitter <1 µrad.
Rozmiar lustra | 4 cale | 6 cali | 8 cali | 10 cali | > 10 cali | 4 cale | 6 cali | 8 cali | 10 cali | > 10 cali |
Rezolucja | 1~3μrad | 3~5μrad | 1~3μrad | |||||||
Przepustowość w pętli zamkniętej | 100 ~ 300 Hz (przy 1% skoku) | 10 ~ 200 Hz (przy 1% skoku) | ||||||||
Odpowiedź krokowa | 4~10ms(przy 1% skoku) | 3 ~ 30ms(przy 1% skoku) | ||||||||
Zakres kąta | ≤ ±25mrad | |||||||||
Powtarzalność | ≤±5μrad | ≤±3 ~ ±10μrad | ||||||||
Temperatura robocza | -40℃ ~ 70℃ | |||||||||
Temperatura przechowywania (℃) | -55 ℃ ~ 85 ℃ | |||||||||
Antywibracyjny | GJB 150.16A-2009 | |||||||||
Odporność na uderzenia | GJB 150.18A-2009 |